高端装备电驱选型:轴向与径向磁场电机的核心差异及装配支撑
200直线电机在半导体设备上的卡点是磁轨多段拼接:接缝台阶与贴装高度公差决定气隙均匀度,法向吸力放大装配风险,长行程把三段误差累加放大。
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